Плазменная технология в производстве СБИС

ЦБ 45409

Издателство

Мир

Местоиздаване

Москва

Година на издаване

1987

Страници

471 с.

Класификационен индекс

УДК	Значение
533.9	Физика на плазмата

Отрасъл

Естествени науки

Системен №

79273

Допълнителна сигнатура

П 57

Инвентаризация

Статус	Брой
Централна библиотека - хранилище (Цб)	1

Плазменная технология в производстве СБИС, Мир, 1987, 471 с..

. Плазменная технология в производстве СБИС. Москва: Мир, 1987, 471 с..

(1987) Плазменная технология в производстве СБИС, Москва: Мир, 471 с.

(1987). Плазменная технология в производстве СБИС. Москва: Мир, 471 с..